Imidite se yon kondisyon kontwòl anviwònman komen nan operasyon chanm pwòp yo. Valè sib imidite relatif la nan chanm pwòp semi-kondiktè a kontwole pou l nan seri 30 a 50%, sa ki pèmèt erè a nan yon seri etwat ±1%, tankou yon zòn fotolitografik - oswa menm pi piti nan zòn pwosesis iltravyolèt byen lwen (DUV). - Nan lòt kote, ou ka detann nan ±5%.
Paske imidite relatif la gen yon kantite faktè ki ka kontribye nan pèfòmans jeneral chanm pwòp la, tankou:
● kwasans bakteri;
● Nivo konfò anplwaye yo santi nan tanperati chanm nan;
● Chaj estatik parèt;
● korozyon metal;
● Kondansasyon vapè dlo;
● degradasyon litografi;
● Absòpsyon dlo.
Bakteri ak lòt kontaminan byolojik (mwazi, viris, chanpiyon, akaryen) ka miltipliye aktivman nan anviwònman ki gen imidite relatif ki pi wo pase 60%. Gen kèk flora ki ka grandi lè imidite relatif la depase 30%. Lè imidite relatif la ant 40% ak 60%, efè bakteri ak enfeksyon respiratwa yo ka minimize.
Imidite relatif nan seri 40% a 60% se yon seri modès tou kote moun santi yo alèz. Twòp imidite ka fè moun santi yo deprime, alòske imidite ki anba 30% ka fè moun santi yo sèk, fann, gen malèz pou respire ak malèz emosyonèl.
Yon imidite ki wo aktyèlman diminye akimilasyon chaj estatik sou sifas chanm pwòp la - sa a se rezilta yo vle a. Yon imidite ki pi ba pi apwopriye pou akimilasyon chaj epi li se yon sous potansyèlman danjere nan egzeyat elektwostatik. Lè imidite relatif la depase 50%, chaj estatik la kòmanse disparèt rapidman, men lè imidite relatif la mwens pase 30%, yo ka pèsiste pou yon bon bout tan sou izolatè a oswa sifas ki pa konekte atè a.
Imidite relatif ant 35% ak 40% kapab yon konpwomi satisfezan, epi chanm pwòp semi-kondiktè yo tipikman itilize kontwòl adisyonèl pou limite akimilasyon chaj estatik.
Vitès anpil reyaksyon chimik, tankou pwosesis korozyon an, ap ogmante pandan imidite relatif la ap ogmante. Tout sifas ki ekspoze a lè ki antoure chanm pwòp la byen vit kouvri ak omwen yon monokouch dlo. Lè sifas sa yo konpoze de yon kouch metal mens ki ka reyaji avèk dlo, imidite ki wo ka akselere reyaksyon an. Erezman, gen kèk metal, tankou aliminyòm, ki ka fòme yon oksid pwoteksyon avèk dlo epi anpeche plis reyaksyon oksidasyon; men yon lòt ka, tankou oksid kwiv, pa pwoteksyon, kidonk Nan anviwònman ki gen anpil imidite, sifas kwiv yo pi sansib a korozyon.
Anplis de sa, nan yon anviwònman ki gen gwo imidite relatif, fotorezist la elaji epi vin pi mal apre sik boulanjri a akòz absòpsyon imidite a. Adezyon fotorezist la kapab afekte negatifman tou pa yon imidite relatif ki pi wo; yon imidite relatif ki pi ba (anviwon 30%) fè adezyon fotorezist la pi fasil, menm san yo pa bezwen yon modifikatè polimerik.
Kontwole imidite relatif nan yon chanm pwòp semi-kondiktè pa yon bagay abitrè. Sepandan, avèk chanjman tan, li pi bon pou revize rezon ak fondasyon pratik komen, jeneralman aksepte yo.
Imidite ka pa patikilyèman aparan pou konfò nou kòm moun, men li souvan gen yon gwo enpak sou pwosesis pwodiksyon an, sitou kote imidite a wo, epi imidite a souvan pi move kontwòl la, se poutèt sa Nan kontwòl tanperati ak imidite nan chanm pwòp la, imidite pi pito.
Dat piblikasyon: 1ye septanm 2020